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炉体真空系统介绍:炉体真空系统由2H70滑阀泵2台,ZJP1200、ZJ300罗茨泵各2台,K-1000油扩散泵2台及真空阀门、真空管道组成,真空测量仪表选用ZDF—III—LED复合真空计,炉体极限真空:1.0×10-3Pa,在油扩散泵油