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电子束热处理是利用高能量密度的电子束加热，进行表面淬火的新技术。电子束是由电子枪呢热阴极（灯丝）发出的电子，通过高压环形阳极加速，并聚焦成束使电子束流打击金属表面，达到加热的效果。被处理零件的加热深度，是加热加速电压和金属密度的函数，当功率为150kw时，在铁中的理论加热深度为0.076mm，而在铝中的则为0.178。
电子束热处理包括电子束表面合金化，即用电子束加热涂覆在工件表面的粉末状合金元素(单一金属或合金粉末)使其熔化并扩散入基体表面层，从而得到耐磨、耐腐蚀或耐热的表面层。
电子束是由电子枪内热阴极(灯丝)发出的电子，通过高压环形阳极加速并聚集成束，使电子束流打击金属表面，达到加热的效果。表面加热深度主要取决于加速电压。
电子束热处理优点：
电子束热处理的主要优点是加热速度快，变形小；淬火后可获得细晶组织。
