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电子束熔炼的概念是M.V.皮拉尼(M.VonPirani)于1905年提出的，但直到50年代中期美国成功地开发电子束熔炼炉后才在熔炼难熔金属钨、钼、钽等的冶金领域获得工业应用。1959年民主德国LEW公司开发了功率为45kW的电子束熔炼炉，60年代又先后研制出200kW和1200kW的电子束熔炼炉，并出口苏联、中国等国。80年代，该公司又成功地开发了EH系列30、80、250、600、1200W高能电子枪，并与苏联合作制造了能够生产30t(采用5支EH1200kW高能电子枪)和100t(采用7支EM1200kW高能电子枪)钢锭的电子束熔炼炉。与此同时，联邦德国的莱宝股份有限公司(LH公司)和美国的Consarc公司相继开发了用于W、Ta、Mo、Nb、V等高熔点金属熔炼的电子束滴流熔炼炉和用于回收钦废料，生产钦锭、钦板坯，熔炼高温合金包括等轴细晶超强高温合金锭以及超强合金钢锭的电子束连续流熔炼炉。
电子束熔炼炉通常使用间热式轴向电子枪，有时一台设备配几支枪，呈环状布置，以便从几个方向轰击炉料。熔炼分滴熔和池熔两种型式。滴熔时，原料制成棒状，从水平或垂直方向进到电子束通路中，料棒端头受电子束轰击后，熔化成熔滴，滴入坩埚内的熔池中。池熔时，原料呈颗粒状或粉状直接加到熔池中，电子束轰击熔池表面使之熔化。前者冶金效果(除气、去杂)好，后者便于调整合金成分，因此两者常配合使用。坩埚又叫结晶器，用铜制成，外周用水或其他液体冷却，随着熔炼作业的进展，熔池底部金属逐渐冷凝，*后形成锭子。
