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电子束加工是利用高能量的会聚电子束的热效应或电离效应对材料进行的加工。利用电子束的热效应可以对材料进行表面热处理、焊接、刻蚀、钻孔、熔炼，或直接使材料升华。电子束曝光则是一种利用电子束辐射效应的加工方法。
利用电子束加工设备的热效应可以对材料进行表面热处理、焊接、刻蚀、钻孔、熔炼，或直接使材料升华。电子束曝光则是一种利用电子束辐射效应的加工方法（见电子束与离子束微细加工）。
作为加热工具，电子束的特点是功率高和功率密度大，能在瞬间把能量传给工件，电子束的参数和位置可以*确和迅速地调节，能用计算机控制并在无污染的真空中进行加工。根据电子束功率密度和电子束与材料作用时间的不同，可以完成各种不同的加工。
根据电子束流的产生原理，电子束加工具有如下特点：
1)电子束发射器发射的电子束流束斑极小，且可控，可以用于精密加工；
2)对于各种不同的被处理材料，其效率可高达75%一98%，而所需的功率则较低；
3)能量的发生和供应源可*确地灵活移动，并具有高的加工生产率；
4)可方便地控制能量束，实现加工自动化；
5)设备的使用具有高度灵活性，并可使用同一台设备进行电子束焊接、表面改善处理和其他电子束加工设备；
6)电子束加工是在真空状态下进行，对环境几乎没有污染；
7)电子束加工对设备和系统的真空度要求较高，使得电子束加工价格昂贵，一定程度上限制了其在生产中的应用。
